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“森创”TS系列交流伺服系统在单晶硅生长炉上的应用
时间:2019-06-11
“森创”TS系列交流伺服系统为某单晶硅生长炉生产企业提供了定制化设计方案,实现了软轴提拉型单晶硅生长炉提拉过程的精确控制。

     在光伏技术飞速发展的今天,利用单晶硅所生产的太阳能电池可以直接把太阳能转化为光能,实现了迈向绿色能源革命的开始。单晶硅是一种非常好的半导材料,用于制造太阳能电池、半导体器件等产品的生产和深加工制造。用单晶硅制成的电子设备已广泛应用科技、军事、民用等于各个领域。软轴提拉型单晶硅生长炉是在惰性气体环境中,以石墨电阻加热器,将一定纯度的硅材料熔化,用提拉法生长无位错单晶硅,其提拉控制的精度与性能直接影响单晶硅生成的数量和质量。

       和利时电机公司为北京某企业提供了单晶硅生长炉伺服控制的定制化设计方案,实现了软轴提拉型单晶硅生长炉提拉过程的精确控制。

       单晶硅生长炉的提拉过程需保证A、B两轴同步控制,并具备互锁功能,即A轴报警时B轴立即停止工作,制动器动作锁住电机。TS系列交流伺服驱动系统通过设置编码器输出接口,让A轴编码器的输出信号作为B轴驱动器的输入信号以此保证A、B两轴绝对同步;并在程序中设置使能信号长短判断,当使能信号的脉冲宽度足够长时,判断为正常使能信号;当使能信号的脉冲宽度较短时,判断为给电机的回零位信号,触发系统停机,转手动调节设备位置。


 

TS系列伺服驱动系统突出特点:

CANopen通信功能:实现了CANopen通讯协议在伺服系统中的应用,定义了4类标准的通信接口:SDO(服务数据对象)、PDO(过程数据对象)、NMT(系统管理命令)和特殊对象,实现通信、网络管理和紧急情况处理等功能,物理介质基于ISO1189标准。

伺服全闭环控制:针对定位精度或动态响应高的设备,解决中间环节传动带来的精度误差,最终实现高精度、高响应性定位。

高精度定位:配置23位(八百万线)高精度绝对值码盘,伺服系统控制精度及整体性能与国外品牌产品发展同步。

示波器功能:在TS伺服驱动器新增示波器功能,可以通过PC机监控特性曲线及修改驱动器参数,方便伺服特性现场调试。

 

 

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